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主要產品有: ALD，PECVD，LPCVD，常壓、低壓擴散爐，氧化爐，退火爐，石墨烯、碳納米管合成爐，立式真空爐，氫氣爐，真空釬焊、熱處理爐等真空熱工設備。
太陽能ALD原子層沉積是通過將氣相前軀體TMA和H20(或TMA和O3)脈沖交替地通入反應腔室內并在沉積基體上化學吸附反應生成沉積膜AL2O3的一種設備，主要應用到光伏PERC、TOPCON等新型工藝上，用于提高太陽能電池片的轉換效率。
松煜L PCVD低壓化學氣相沉積設備,用加熱的方式在低壓條件下使氣態化合物在基片表面反應并積淀形成固定固體薄膜(SiOz, POLY-Si,P+POLY-Si)，目前主要使用方向為: TOPCon與POLO(POLY-Si)電池工藝路線。
松煜硼、磷擴散爐是最新型低壓擴散爐，低壓擴散是通過真空泵的作用，使反應腔體處于真空狀態，然后通入工藝氣體，擴散過程使腔室維持在穩定恒定的真空狀態，從而保證腔室內硼或磷原子濃度不變。由于真空條件下氣體分子自由程增加，氣體分子在硅片表面的附著能力也有很大改善且避免了出現大量氣體湍流，此時硼或磷原子可以均勻地分布在硅片表面，且在硅片表面擴散一層均勻的雜質原子，從而保證硅片擴散的均勻性。
原子層淀積系統可生長品質優異的薄膜，設備先進，穩定可靠。應用實例:高K柵氧化層，存儲容性電介質，銅互連中高深寬比擴散阻擋層，OLED無針孔鈍化層，MEMS的高均勻鍍膜，納米多孔結構鍍膜，特種光纖摻雜，太陽能電池，平板顯示器，光學薄膜，其它各類特殊結構納米薄膜。
松煜科技
智能裝備制造商
松煜科技是一家專業從事光伏及半導體工藝裝備研發、生產、銷售為一體的智能裝備制造企業。目前公司主要產品有: ALD，PECVD，LPCVD，常壓、低壓擴散爐，氧化爐，退火爐，石墨烯、碳納米管合成爐，立式真空爐，氫氣爐，真空釬焊、熱處理爐等真空熱工設備?？蓮V泛用于半導體集成電路、焊接封裝、IGBT、MEMS、光伏電池制造及其他新能源、新材料、真空電子和磁性材料等領域，各類技術指標達到國內裝備制造的先進水平。
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